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| 电子束光刻机减振底座 | 项目编号****点击查看 | |
| 2026-10-26 16:13:25 | 公告截止日期2026-10-29 17:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式货到安装调试运行验收合格后付100% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个自然日内 | |
| ￥ 148000.00 | ||
| **市****点击查看 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 电子束光刻机减振底座 | 1 | 台 |
| ￥ 148000.00 |
| 1、减振底座是专为 nB5 型电子束光刻机设计、制造的隔振支承装置，安装于设备与洁净室地基之间，用于支承设备整机、衰减由地基传递至设备的微振动、提供水平调节与固定接口，保证电子束光刻机在规定的微振动环境下稳定运行。 2、底座采用焊接钢框架结构，内置隔振元件与调平机构。 3、底座台面的设备底脚接口、载荷分布及外形尺寸均按该设备的安装要求设计。 4、外形尺寸（长×宽×高）不大于770 mm × 755 mm × 284 mm，底座台面尺寸见图1、图2（具体见附件）。 底座预留线缆、气路、真空管路及接地引线的敷设空间，避免与设备各接口干涉。 底座设置搬运与吊装接口，满足洁净室内的搬运要求。 5、承载能力≥ 800 kg 6、底座自重不大于150 kg 7、台面平面度≤ 2 mm/m 8、底座底部载荷通过底板均匀分布至地基，避免局部集中载荷；对楼板结构的地基，接触面压强按地基承载能力校核确定。底座固定后底座与地基连接可靠、不发生滑移。底座底面与地基之间针对地基不**设置水平调节机构，调平后底座水**不大于3 mm/m。 9、采用多点支承金属及橡胶隔振元件（被动隔振），隔振元件按设备载荷分布对称布置，保证底座在设备载荷作用下均匀承载、不发生偏载。使底座台面振动满足RMS< 40μm/s 的指标要求。 10、底座材料使用防静电材料。主体材质304 不锈钢，底板厚度不小于14mm，支承面厚度不小于6mm，立柱厚度不小于3mm，焊接质量符合相关标准要求；全部零部件表面无锐边、无毛刺，避免产尘与积尘，满足洁净室使用要求。 11、底座应能在洁净室环境（温度 19～23 ℃、相对湿度 40%～55%）下长期稳定工作。 12、底座支承面占用最小支承面积，保证设备底部的通风面积达到90%（即镂空地板面积切割最少），底座地基开孔示意图见图2（具体见附件），方孔尺寸是125mmx125mm，在净化室铸铝通风地板上开孔。 13、安装要求 到货后供应商负责安装调试 （1） 安装前应确认洁净室地基承载能力满足要求，地基表面平整、无空鼓； （2） 按安装图定位底座，复核外形尺寸与安装空间； （3） 底座就位后，通过调平机构调平，调平后水**不大于 3 mm/m； （4） 按设计固定方式将底座与地基可靠固定； （5） 安装完成后应检查固定材料凝固状态，保证无软化点。 14、质量保证与随机文件 保质期要求自验收签字后24个月或更多，质保期内非人为损坏，厂家需无条件免费更换。 （1） 底座制造全过程按设计图纸要求进行控制； （2） 安装前完成外观、尺寸、调平、承载、场地适配性等检验； （3） 随机文件包括：产品设计图、安装图、检验报告及发货单。 15、供应商必须提供加盖公章版报价清单与技术文件 16、供应商必须提供 nB5 ****点击查看设备厂商技术确认文件 17、供应商如果是代理，必须提供原生产厂商盖章的产品授权书 18、供应商需对技术要求逐条响应。供应商需在响应时一次性提供所有要求文件。任何不完整或缺失文件的响应都将被视作无效响应，本项目不接受后续补交材料或二次报价。 |
| 24个月 |
基本情况
上次中标企业: 常州****公司
潜在竞争对手: 共
466
个, 其中与甲方合作关系紧密的
5 家
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