重载机械臂末端转接器

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末端转接器末端负载不小于1000kg，包含MEA与CMOR的连接件，MEA整机结构、线材、拖链、驱动、控制元器件、紧固件等所有零部件的总质量要求小于600 kg。 末端转接器的末端重复定位精度达到±0.2mm。 末端转接器应能实现工具和内部部件在真空室内部的运输和定位功能。 末端转接器应具备足够的运动关节使其能够完成真空室内部工具或内部部件在维护过程中的运输及定位。 末端转接器应能从单个遥操作维护中窗口至接近内部部件（如包层、偏滤器）内表面区域，维护空间≥45°。 末端转接器应能在真空室内与输运臂系统配合完成执行器、内部部件的抓取和放置。 末端转接器末端应有一个适用于末端执行器的标准接口。该接口应能在没有任何辅助设备的情况下通过远程电动操作实现末端执行器的接触和脱离，并具备故障保护措施避免负载掉落。