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历史招中标信息93763条
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| 采购单位：****点击查看 | 联系人：苏绍强 |
| E-mail：无 | 联系电话：186****点击查看2309 |
| 传真：无 | 联系手机：无 |
| 邮编：无 | 平台联系电话（异议）：020-****点击查看9972；****点击查看@qq.com |
| 项目名称： ****点击查看研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器 | 竞价编号：****点击查看 |
| 采购类型：货物类 | 开始时间：2026-09-18 14:52:27 |
| 项目预算(元)：87,000.00 | 结束时间：2026-09-21 14:52:27 |
| 质保期及售后要求：按原厂售后服务进行 | |
| 其他要求：无 |
| 资格条件 | 无 | 无 | ||
| 付款方式 | 完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。 | 完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。 | ||
| 交付时间 | 合同签订后30个工作日内交付 | 合同签订后30个工作日内交付 | ||
| 履约保证金： | 无需履约保证金 | 无需履约保证金 | ||
| 交付地址 | **省**市**区****点击查看大学城校区理五栋526 | |||
| 质保期及售后要求 | 按原厂售后服务进行 | 按原厂售后服务进行 | ||
| 其他要求： | 无 | 无 | ||
| 离子束刻蚀机控制器 | **埃德万斯、IBE-150 | 1.00 | **埃德万斯、 IBE-150 | 49300.000元 |
| 水冷刻蚀样品台 | **埃德万斯、p150mm | 1.00 | **埃德万斯、 p150mm | 27500.000元 |
| 总报价 | 76800.000 元 | |||
| 离子束刻蚀机控制器 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配OES终点检测控制信号接入。 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配OES终点检测控制信号接入。 | ||
| 水冷刻蚀样品台 | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±90°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃） | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±90°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃） | ||
| 附件 | ||||
基本情况
上次中标企业: 深圳****公司
潜在竞争对手: 共
27
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
