| 1 | 三维压电运动台 | SmarAct | 自由度数为3,单轴运动行程不小于21mm,分辨率好于4nm,重复定位精度好于±40nm,传感器电压3-5.5V,系统负载不小于1.5N,单轴线缆长度不小于1.5m,Dsub-15公头,空间尺寸48.5×32×54mm3。 | 组 | 1 | 12周 | HEPS光源ID30实验站 | |
| 2 | 压电台三轴运动控制卡 | SmarAct | 单插槽机架模块,适配机架控制器MCS2-R19-0003,驱动类型为Stick-Slip Piezo Driver,支持最多3个Stick-Slip位置器,可选择S-Sensor、L-Sensor、I-Sensor3种传感器类型,通过host模块和背板通讯,驱动信号为HV-OUT-x;步进模式锯齿,扫描模式常数,输出电压范围0-100V,单通道平均电流330mA,单通道峰值电流30A,供电方式为MCS2-R19-0003 机架背板供电。 | 块 | 1 | 12周 | HEPS光源ID30实验站 |