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历史招中标信息65478条
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| 特气柜 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-08-02 16:02:48 | 公告截止日期2025-08-08 16:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 合同签定生效后14个工作日内 | |
| ￥ | ||
| ****点击查看八里台校区伯苓楼副楼微纳平台 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 特气柜 | 2 | 台 |
| 无 |
| 无 |
| ￥ |
| 1.用于微纳加工平台NH3和SiH4的特气瓶放置： 1.1优选柜体尺寸：双瓶柜长×宽×高：750mm×600mm×2100mm 1.2运行方式：自动供应+自动吹扫 1.3数字接口：以太网+RS485通讯接口 1.4系统电源：主电源：220VAC 50/60HZ；输出：24VDC 1.5工作环境：温度：5-35℃；湿度：≤85%RH（无冷凝） 1.6连接方式：VCR连接 1.7认证：SEMI S2、CE 双认证 2.气体相关 2.1工艺及吹扫气瓶最大压力：2650psig 2.2 吹扫流量：吹扫时流量70-80LPM，非吹扫时约6LPM 3.接口规格 3.1工艺出口：1/4"×0.035" wall（6.35mm×0.89mm wall） 3.2排气口：3/8"×0.035" wall（9.525mm×0.89mm wall） 3.3普通氮气（真空发生器用）、气动入口、高压氮气入口：均为 1/4"×0.035" wall（6.35mm×0.89mm wall） 4.排气要求 4.1操作窗口空气流速：平均值至少200英尺/分钟，各点最小150英尺/分钟 4.2静态压力测量位置：排气口上方6****点击查看工厂其他排气系统，专为所用气体设计） 5.技术参数配置 5.110" 触摸屏（中文界面，中文操作） 5.2可编程控制器（OMRON系列PLC） 5.3自动吹扫功能 5.4换瓶时氮气正压保护 5.5过滤器（前端≤0.4μm，终端≤0.003μm） 5.6真空发生器（Venturi 型，快速排气） 5.7压力传感器（真空排放管、钢瓶侧、供气侧、吹扫气压力传感器） 5.8排风系统（排风风阀、排风压差表、排风压差开关） 5.9安全装置（红外/紫外火警探测器、高温报警探测器、烟雾报警探测器、喷淋头UL认证） 5.10操作窗、闭门器、门锁 5.11停机功能（紧急停机功能、远程停机功能） 5.12盘面吹扫，管线吹扫功能 5.13手动供应模式 5.14压力传感器自动/手动校准功能 6.负责现场的安装和调试。 |
| 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
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