8寸2026下半年设备二次配及区域改造

项目名称: **8寸事业部2026下半年设备二次配及区域改造的需求

业绩要求：

截止到2025年底3年内至少3个半导体或8英寸大硅片行业二次配施工总承包（包括设备钢基座、工艺配电、工艺排风、工艺冷却水、工艺真空、pumping-line、洁净室改造及纯废水、大宗/特种气体、化学品、研磨液等）业绩。

资质要求：

机电安装专业承包一级。

技术标准和要求：

项目名称：**8寸事业部2026下半年设备二次配及区域改造的需求

建设单位：****点击查看

建设地址：****点击查看经济开发区

工期要求：计划开工日期：2026年10月10日，计划竣工日期：2026年12月10日；总工期：日历工期 62 日历天（含节假日）；

招标范围：1.上半年扩产10万片月产能关键工序设备的二次配补充施工和区域改造；2.2026年8月初已初步预会堪过点位情况，需再次确认；3.增补关键工序自动化相关配套设施（灰区、抛光、百级等区域的二次配需求）；4.必需的墙板、壁板开孔、封堵等；5.一楼新增腐后清洗机间及RTP间环境改造；6.涉及到的消防相关拆改工作由安环部负责。

本次招标建设内容主要包括：8寸厂房一般通用项目、洁净室、暖通、工艺排气、工艺冷却水、大宗气体、工艺真空、工艺排水、纯废水、研磨液系统的改造与扩充，设备区域下部管道拆除移位及钢平**装，设备搬运，工艺设备二次配；包含全部材料设备采购、安装、调试，直至项目竣工验收、移交等工作内容。

严格按照国家和**省最新的标准、规范、规程进行设计和施工，如与招标文件、设计图纸不一致，要求就高不就低。本工程施工及验收应遵循国家及地方相关规程、规范及规定，下列规范中如有变更，以最新版本为准。工程质量要求：达到国家施工质量验收合格标准。

2.1 设计应符合的技术规范标准

1) 《中华人民**国水污染防治法》（2017修正）

2) 《中华人民**国环境噪声污染防治法》1996.****点击查看.29

3) 《中华人民**国大气污染防治法》2015.****点击查看.29修订

4) 《中华人民**国固体废物污染环境防治法》（2016修正）

5) 《电子工业职业安全卫生设计规范》GB50523-2010

6) 《中华人民**国职业病防治法》中华人民**国主席令第52号（2011年12月31日）

7) 《中华人民**国安全生产法》2014年8月31修订

8) 《工业企业设计卫生标准》GBZ1-2010

9) 《工作场所有害因素职业接触限值》GBZ2-2007

10) 《建筑设计防火规范》GB50016—2014（2018年版）

11) 《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2019

12) 《工业循环冷却水处理设计规范》GB/T 50050-2017

13) 《洁净厂房设计规范》GB 50073-2013

14) 《建筑防火通用规范》GB 55037-2022

15) 《建筑设计防火规范》GB 50016-2014（2018版）

2.2 施工应符合的技术规范标准

1) 《特种气体系统工程技术规范》GB 50646-2020

2) 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB 50724-2011

3) 《压力管道规范工业管道》GB/T 20801

4) 《电子工厂化学品系统工程技术规范》GB 50781-2012

5) 《机械设备安装工程施工验收通用规范》GB 50231-98

6) 《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235-97

7) 《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB 50236-2011

8) 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010

9) 《洁净厂房施工及质量验收规范》GB 51110-2015

10) 《建筑门窗工程检测技术规程》JGJ/T ****点击查看010

11) 《防火卷帘、防火门、防火窗施工及验收规范》GB 50877-2014

12) 《工业安装工程质量检验评定统一标准》GB 50252-94

13) 《工业金属管道工程质量检验评定标准》GB 50184-93

14) 《自动化仪表安装工程质量检验评定标准》GB50093-2013

15) 《通风与空调工程质量检验评定标准》 GB50243-2016

16) 《钢制对焊管件类型与参数》GB/T12459-2017

17) 《钢制对焊管件技术规范》GB/T13401-2017

2.3 环保、安全、卫生、消防、节能应符合的技术规范标准

本项目建成后的水、气、声、渣等排放应符合国家及地方要求。项目建设应采用节能环保的建筑材料、施工工艺、设备设施。施工期须遵守国家及地方环境保护、噪声、扬尘、污水、建筑垃圾相关规定。

环境保护应符合以下标准规范

1) 《中华人民**国环境保护法》2014.4.24

2) 《工业企业厂界环境噪声排放标准》GB12348—2008

3) 《中华人民**国水污染防治法》（2017修正）

4) 《中华人民**国环境噪声污染防治法》1996.****点击查看.29

5) 《中华人民**国大气污染防治法》2015.****点击查看.29修订

6) 《中华人民**国固体废物污染环境防治法》2015.****点击查看.24修订，

职业安全卫生应符合以下标准及规范

1) 《电子工业职业安全卫生设计规范》GB50523-2010

2) 《中华人民**国职业病防治法》中华人民**国主席令第52号（2011年12月31日）

3) 《中华人民**国安全生产法》2014年8月31修订

4) 《工业企业设计卫生标准》GBZ1-2010

5) 《工作场所有害因素职业接触限值》GBZ2-2007

消防应符合以下标准及规范

1) 《建筑设计防火规范》GB50016-2014

节能应符合以下标准及规范

1) 《中华人民**国节约能源法》主席第七十七号令

2) 国家及地方其它有关节约能源及合理利用能源的现行政策、有关规范、规定

3.1 本项目包含以下整体工作内容

1) 8寸厂房一般通用项目、洁净室、暖通、工艺排气、工艺冷却水、大宗气体、工艺真空、工艺排水、纯废水、研磨液系统的改造与扩充，设备区域下部管道拆除移位及钢平**装，设备搬运，工艺设备二次配；包含全部材料设备采购、安装、调试，直至项目竣工验收、移交等工作内容。

2) 材料供应、安装、测试，包括管道支架、管路标识、机台阀门标示牌，安装及测试时所使用的气体、管道预制用的洁净施工场所、材料及组件存放用的洁净场所、施工用电（甲方提供就近接点）、工地的清安费用、临时办公室的设置、测试用的仪器及消耗性材料、无尘室个人用品及为完成一完整的系统的其他工作。

3) 承包商必须负责施工、安装图纸上标明的所有系统设备的二次配件。与甲方及其它承包商**协调确定配线及管道走向、相关配套及与本包界面有关的工作。

4) 洁净板、钢制防火门、卷帘门的拆除和**，风淋室、传递窗的拆除和移位、灯具拆除等工作。

5) 高架地孔板的拆除、利旧及新增、吊顶加固、新增FFU等。

6) 管道穿墙、穿楼地板、天花盲板的开孔及修补的工作，或防火填塞的提供。

7) 配管、配线的保护、高温防护及保温处理、加热及温控等。

其他补充要求及细项

1. 承揽商依甲方要求之发包材料须送甲方审核（报审过的材料可以不重复报审）。

2. 承揽商应自行负责工地管理工作，遵循政府最新发布之有关法令、规章，确实做好各项工业安全卫生工作，以保障工作场所人员生命财产之安全。若因承包商之疏忽以致肇事而造成之各项损失，皆须由承揽商负责赔偿。

3. 二次配施工招标要求中，除设计图纸和技术规范已明确的内容外，请补充以下厂务使用方要求：施工期间新增管道支架须独立生根，不得焊接在现有运行管道上，施工区域与在用设备做好物理隔离及防护；阀门、过滤器等需定期操作的部件，安装位置须确保巡检人员正常可达，手轮方向不得朝向墙壁或管道背面，正前方预留足够操作空间；所有新增管道色标、流向箭头及阀门标牌编号须与厂区现有设备台账编号体系一致，竣工时提供标识对照表供直接录入；每路支路末端预留带盲板的阀门接口，为后续设备扩展留有余地；施工完成后须对厂务运行人员进行现场培训，交付操作手册须以运行人员能看懂为标准；施工方须自行完成现场踏勘，进场后服从厂区EHS管理及洁净室行为规范，不得以图纸未注明为由推卸责任。

4. 二次配工程的具体技术标准、施工工艺及质量要求，应以本招标文件“技术规格书”及随附的系统设计图纸为准。

5. 送审文件如下：

乙方文件送审清单

3.2 系统说明

（一）电力系统配线工程：

1. 制程配电项目每点包含内容：

1) 制程配电项目仅能使用单点供应，即每个NFB断路器仅能供应一个 POU或盘柜，不允许同时供应单台以上的机台或盘柜。

2) 进线电缆，开关柜体，分开关底座分接开关、插入式断路器，含插接头、底座和开关施做完成，负责配线到设备机台。每点包含电缆、镀锌铜接线端子、EMT管、金属软管，扎带、回路标示牌、测试等。

3) 设备至电盘之间需配电力桥架。

① 采用镀锌金属桥架，安装方式采用模块组装的形式。配制灵活、维修方便、散热性能好、具备抗腐蚀、氧化能力。

② 槽式桥架由室外进入室内时，向外坡度不小于 1/100，各弯通、附件等连接部件应符合相关规范要求。

③ 全长大于30m时，应每隔20m～30m增加与接地网的连接点。电缆桥架的起始端和终点端应与接地网可靠连接。

④ 不同电压等级的线缆不应穿入同一根保护管内，当合用向一线槽时，线槽内应有隔板分隔。

⑤ 电缆沿桥架敷设时，电缆在桥架横断面电力电缆不应大于40％；控制电缆不应大于50％。

⑥ 不同电压等级的电缆，强电和弱电电缆。分桥架、管线进行敷设。

⑦ 电缆桥架在穿越不同防火区时采取封堵。电缆桥架在穿越每一层楼板处采用不燃材料进行封堵。在穿越伸缩缝、沉降缝时采取有效的补偿措施。

4) 配电

结合业主实际生产使用要求，本次配电覆盖设备包含 JSG 外延设备、芯三代外延设备、Scrubber、Bubbler chiller及离子注入机。

本项目供电电源依托厂房现有低压配电柜、配电箱接入，配电系统整体采用TN-S三相五线制供电制式。设计为每台工艺设备配置独立供电回路，配套设置专用隔离电器与电气保护器件，严格区分工作零线与保护地线，从系统层面降低漏电、触电安全风险，保障各类工艺设备持续、稳定、安全运行。

① 项目电力电缆统一选用WDZB-YJY-0.6/1kV型无卤低烟B级阻燃交联聚乙烯绝缘铜芯电力电缆，具备环保、阻燃、低烟无毒特性，适配厂房生产环境使用要求；

② 主干电缆沿镀锌电缆桥架敷设，电缆出桥架后的分支段、外露段均采用镀锌钢管进行防护，提升线路机械防护性能与安全稳定性；

③ 电缆桥架、保护钢管穿越吊顶、架空地板等结构部位时，需采用专用装饰条进行密封封堵，保证结构完整性与环境密封性。

特气探测器按现场需求实施。

5) 电线、电缆：

④ 根据工程条件、环境特点、电缆类型等因素，按满足运行可靠、便于维护和技术、经济合理等原则，本项目设计采用低烟无卤阻燃铜芯电线、电缆，其性能满足相关规范要求。

⑤ 绝缘导体满足工作电压的要求，室内敷设塑料绝缘电线不应低于0.45kV/O. 75kV,电力电缆不应低于0.6kV/1kV。

⑥ 对于不轻易改变使用功能、不易更换电线电缆的场所采用寿命较长电线电缆。

⑦ 在电缆首末端、分支处及中间接头处设标志牌。

⑧ 在电缆穿过钢管(钢套管)或钢筋混凝土楼板、墙体的预留洞时，电缆分回路敷设。在电缆穿越不同防火区、火灾危险性较大的房间时，**采用不燃材料进行封堵。

⑨ 线缆敷设时满足其弯曲半径，并与其他专业管线保持一定的间距，其弯曲半径、间距符合相关规范要求

6) 线管：

二次配管配线设计以工艺设备接口资料（UM表）为依据，明确设备的介质种类、压力、温度、流量、纯度及接口规格等参数。主管接驳口（Takeoff）点根据现场一次配的预留管道及接口为依据，以满足使用，施工便捷为依据，二次配管须考虑以下因素：

① 管线不应穿越有火灾、爆炸危险区域或高温、强振动区域；不可避免时，应采取防护措施。

② 管线与建筑结构、其他专业管线之间应留有足够的操作、检修空间。

③ 洁净区内管线布置应满足洁净度要求，避免积尘死角。

④ 管线间应按规范保证合理间距，布置应遵循"最短路径、最少弯头"原则，合理规划走向，避免交叉干扰。

⑤ 所有管路系统均应设置必要的切断阀、检修阀及排放阀。

⑥ 电线管道穿过洁净区顶棚、墙壁和楼板处应设套管，管道与套管之间采取不燃材料可靠的密封措施。

⑦ 在洁净室内的管线应不对洁净室环境质量产生负面影响，并满足易清洁、消毒、抗腐蚀等性能要求。

⑧ 线管采用镀锌钢管或JDG管，接头采用螺纹连接、卡接，并做有效的接地连接，管径满足电缆穿越的相关要求。

⑨ 明敷于潮湿场所或埋于室外的金属导管，应采用管壁厚度不小于2.0mm的钢导管，并采取防腐措施。明敷或暗敷于干燥场所的金属导管宜采用管壁厚度不小于1.5mm 的镀锌钢导管。

⑩ 穿金属导管的绝缘电线（两根除外），其总截面积（包括外护层）不应超过导管内截面积的40%。

11 管线在穿越伸缩缝、沉降缝时采取有效的补偿措施。

2. 插座配电项目每点包含内容：

1) 每点包含电缆、插座、电缆、镀锌铜接线端子、EMT 管、金属软管、管路支架、扎带、回路标示牌等。

2) 机台、工作桌之独立接地或静电接地，接地电阻不大于1欧姆每点包含内容:每点包含电缆、镀锌铜接线端子、EMT 管、金属软管电缆扎带、回路标示牌等。

（二）配管工程：

1. 大宗气体

1.1、根据工艺设备UM表，大宗气体需求如下：

大宗气体供气压力一般为0.4~0.8 MPa，末端压力不应低于设备最低工作压力，管内流速宜控制在10~15 m/s。

高纯大宗气体（纯度≥99.999%）管路应采用316L BA管或EP管。 一般纯度大宗气体管路可采用304 BA管或AP管。管径≤1"宜采用VCR接头或卡套连接。管径>1"宜采用自动轨道焊接或法兰连接。

1.2、其他：

1) 高纯大宗气体种类包括：PN2、Ar、He、PO2、XCDA。

2) 一般大宗气体种类包括：CDA、GN2。

3) 每点包含二次阀盘、管、接头（FLANG、SWAGELOK、VCR 等形式）、弯头、SUPPORT、大小头、垫片、三通、阀门、标示牌、支架、测试等。材质同主系统。

4) 阀盘部分包括：阀盘盘面、底座材质为不锈钢。球阀、隔膜阀、调压阀（按设备要求选装）、压力表。材质同主系统。

5) 隔膜阀

① 锻造不锈钢，无弹簧，带金属阀盖垫片的无填充 EP 级隔膜阀。

② 泄漏率：1x 10-9 scc/sec. He

③ 隔膜阀门 Cv 值：至少 0.27(1/4”)、0.7(3/8”)、0.7(1/2”

④ 隔膜片材质：Elgiloy 或优于该等级

⑤ 使用寿命：适用于所有阀门，对于手动阀门至少25000次操作动作，对于气动阀至少 50000 次自动动作。

⑥ 能在工作压力状态下完全打开和关闭阀门。

⑦ 阀门手柄：具有指向性或者带有明显开关指示标识。

6) 单个Take off 点供应一个以上机台或使用单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后应加装阻隔阀。

2. 特殊气体

2.1、根据工艺设备UM表，特殊气体需求如下：

特气管内流速：≤15 m/s（一般气体），≤10 m/s（腐蚀性气体）。管路设计压力：≥1.5倍工作压力，且不低于1.0 MPa。从VMB/VMP至设备接口的管路压力降不应超过气源压力的5%。

特气管路应采用316L EP管（电抛光不锈钢管），内表面粗糙度Ra≤0.25 μm。外套管选用304 AP管。

弯管必须使用标准SWAGELOK单倍弯管器，弯管效果及流程必须事先经过业主工程师确认。超过1/2”尺寸必须使用标准弯头焊接。

2.2、其他：

1) 特殊气体种类包括PH2、TCS、NH3、CO2、HCL、PH3/H2、B2H6/H2、SIH4、CLF3等。

2) 每点包含管、接头（VCR 形式含爪式垫片）、SUPPORT、大小头、标示牌、支架、五项测试等。每点包含侦测器及线缆、套管，local scrubber每台设置侦测器。

3) 特气仅能使用单点供应，即每个Stick仅能供应一个 POU，不允许开tee供应两个POU。

4) HCL、PH3/H2、B2H6/H2、TCS、SIH4、CLF3使用双套管，NH3使用单套管。

5) NH3二次配管路需配置加热带，温控箱接驳点以现场实际会勘为准。

3. 冷却水（PCW）

1) 系统参数：（1）供水压力0.3~0.6 MPa，回水压力0.1~0.3 MPa。供水温度15~25℃，回水温度不宜超过35℃。（2）管内流速宜控制在1.0~2.5 m/s。（3）每台设备供回水管路应设置切断阀、Y型过滤器、流量调节阀及温度/压力表。

2) 管道材质：管材采用304或316L不锈钢管（BA或AP级），管径≤2"采用卡压式连接或焊接，管径>2"采用焊接或法兰连接。

3) Scrubber使用到自来水，从2层梁下原有DN100自来水管中接出，管材采用UPVC给水管，连接方式为热熔连接。

4) 每点内容包含进水管、回水管和阀组、不锈钢软管、管件、仪表、支架、管路标识、阀门挂牌。厂商于报价时须包含进水、回水管路、阀盘的下列所提之范围。进水管含球阀、压力表；回水管路含球阀、温度计、流量计（钢化玻璃或不锈钢面板式，可立式和卧式安装适用于切磨抛厂房）、压力表，另外供水设置bypass阀组（适用于外延设备）。

5) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许单点共用一个以上的 POU，但每个POU独立阀组。

6) 单个Take off 点供应一个以上机台或单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后应加装阻隔阀。

7) 在安装PCW管路后，先flush 30min，将管路内部杂质冲洗干净，再安装过滤器，并与设备对接。

4. 化学品

1) 每点包含管、接头、SUPPORT、大小头、管路标示、挂牌、支架、测试、机台用药信号线及测试等。

2) 使用单点供应，即每个Stick仅能供应一个 POU，不允许开tee供应两个POU。

5. 自来水（CW）

1) 每点包含管、接头、SUPPORT、大小头、管路标示、挂牌、支架、测试等。

2) 每个使用点配置一颗球阀及一颗压力表，末端衔接根据需求设置软管。

6. 真空泵线（Pumping-line）

1) 每点包含管、接头、SUPPORT、大小头、管路标示、挂牌、支架、测试等。

2) 每个使用点配置：两端均设置不锈钢软接头及取样口。

3) 需根据机台需求局部放大管路，弯头均用45度弯头，转弯总和不得超过270度。

4) 完成pump-line的相关指标测试，并做好测试记录。

7. 压缩空气

根据工艺设备UM表，压缩空气需求如下：

1) 压缩空气系统压力0.5~0.8 MPa，露点≤-40℃，含油量≤0.01 ppm，颗粒≤0.1 μm。或由主系统参数确定。

2) 管内流速控制在10~15 m/s。每台设备接口处应设切断阀、过滤器及压力表。 CDA管路SUS304 AP管。管径≤3/4"可采用弯管器，管径>3/4"采用焊接或法兰连接

8. 工艺真空及清扫真空

根据工艺设备UM表，真空需求如下：

1) 真空管路应坡向真空泵或集水器，坡度≥2%，● 每台设备真空管路上应设置止回阀，防止串流。

2) 真空管道采用SUS304 BA管。管径≤1"采用VCR接头或卡套链接，管径>1"采用焊接或法兰连接。

（三）塑材配管工程

1. 制程真空(PV)

1) 每点包含阀组、管道、管道支架、接头（视机台接头形式而定）、大小头、直接、弯头、三通、阀门、标示牌等。

2) 阀组部分包括：球阀、真空表（按设备需求进行选配）。视机台接头形式配置PU软管。

3) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许使用单点供应一个以上的 POU。

4) 切割要求：用数控切管机/等离子切割机（不锈钢）切割，确保切口平整、无毛刺、无变形，避免内壁污染；超高真空管道需采用无屑切割技术；

5) 坡口加工：焊接连接时，端口加工V型坡口，保证熔透性；用坡口机/砂轮机打磨，去除氧化层；

6) 脱脂清洗：用无水乙醇、丙酮或专用脱脂剂，彻底擦拭管道内外壁，去除油脂、切削液残留；

7) 除污打磨：用百叶轮/抛光布对内壁轻度抛光，去除氧化皮和杂质，避免过度打磨产生金属粉尘；

8) 超声清洗：高/超高真空管道需放入超声波清洗机，用去离子水或专用清洗液清洗10~30分钟，清除细微颗粒；

9) 干燥处理：用高纯氮气吹干，或80~120℃烘箱烘干，确保无水分残留；

10) 单个Take off 点供应一个以上机台或单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后应加装阻隔阀。

2. 酸碱化学品及研磨液

1) 每点包含管道、管道支架、接头（入珠/扩口）、大小头、直接头、弯头（弯管）、三通、管路表示，标示牌、机台用药信号线及测试等等。

2) 使用单点供应，即每个Stick仅能供应一个 POU，不允许开tee供应两个POU，阀门需要加阀箱。

3. 排液及排水

1) 每点包含管道、管道支架、软管（PE）、软管接头、 接头（视机台接头形式而定）、大小头、直接、弯头、三通、 法兰、垫片、管路标示、机台阀门标示牌等，管路在进入机**需有阀门。

2) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许使用单点供应一个以上的 POU。

3) 单个Take off 点供应一个以上机台或单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后应加装阻隔阀。

4) 排水为Scrubber酸性排水，含DN25压力管及DN20重力管，汇合后管径DN50接至排水主管。

5) 排水管材PPR，热熔连接。

6) 针对设备排水中存在气体逸出情况的要在管路端家装存水弯。

（四）排气系统配管工程：

4.1、基本要求：

1) 风速参数：废气主管风管流速控制 6~12m/s，设备支管流速控制 4~8m/s；

2) 排水坡度：全系统管路统一坡向排水收集点，管道坡度≥2%，管路低点统一设置排液口，管路末端预留检修检查口；

3) 压力工况：整套工艺排气系统全程负压运行，所有管路、阀门、管件均按照各设备接口额定负压值选型、核算；安全附件：每台工艺设备排气支管独立配置风量调节蝶阀；有机废气支管增设防火阀，阻断回火风险；

4) 路由划分：外延机至真空泵、真空泵至 Scrubber、外延机直连 Scrubber 的高温工艺废气管路独立成套布置，与普通酸碱、有机废气管路分区敷设，避免介质交叉污染。

5) 4.5.2 管材选型标准（防火阻燃分级管控）

6) 酸性酸碱废气：采用难燃 B1 级 PP/PPS 材质，耐氢氟酸、磷酸等各类酸性腐蚀介质；

7) 有机工艺废气：SUS304 亮面不锈钢风管，出厂提供材质检测合格证明；

8) 通用一般排气：不燃镀锌钢板风管，满足洁净厂房不燃防火基础要求；

9) 外延高温工艺废气（外延机 - 真空泵 - Scrubber 段）：SUS316L BA 级亮面不锈钢管，耐高温、耐氮化硅工艺腐蚀，全部管材提供原厂材质质保文件；所有金属不锈钢风管统一采用光亮面原厂管材，进场核验材质光谱报告与出厂合格证。

4.2、类别：

1. 一般排气（General）

10) 每点包含 Sub-Main 风管挖孔安装鞍座（如需开孔时）、支架、Duct、弯头、Tee、法兰、垫片、异径管、三通管、风阀、风压表及测试孔，软管（形式根据机台要求而定， PVC，Metal，Hi-Temp)、接头（形式根据机台要求而定）、Clamp、盲板、固定螺丝、标示牌等，管路在进入机**须加风阀及风压表（设备侧已有的可以不用）。

11) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许使用单点供应一个以上的 POU。

12) Stick 或 Take off 供应一个以上机台或单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后需加装阻隔阀。

2. 酸排气（Acid）

1) 每点包含 Sub-Main 风管采用成型三通或弯头（如必要时）、Duct、弯头、支架、Tee、法兰、垫片、异径管、三通管、风门、风压表及测试孔，软管（形式根据机台要求而定， PVC，Metal,Hi-Temp)、接头（形式根据机台要求而定）、Clamp、 盲板、固定螺丝、标示牌等。管路在进入机**须加风阀及风压表（设备侧已有的可以不用）。

2) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许使用单点供应一个以上的 POU。

3) 单个Take off 点供应一个以上机台或单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后应加装阻隔阀。

3. 碱排气（Alkali）

1) 每点包含 Sub-Main 风管采用成型三通或弯头（如必要时）、Duct、支架、弯头、Tee、法兰、垫片、异径管、三通管、风门、风压表及测速孔、软管（形式根据机台要求而定 PVC，Metal,Hi-Temp)、接头（形式根据机台要求而定）、Clamp、 盲板、固定螺丝、标示牌等，管路在进入机**须加风阀及风压表（设备侧已有的可以不用）。

2) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许使用多点共用一个以上的 POU。

3) 单个Take off 点供应一个以上机台或单点供应机台一个以上的 POU，管路开 Tee 后应加装阻隔阀。

4.1 施工准备

施工前应组织现场复勘，核对管道走向、设备接口、电气回路等关键节点。应明确施工工艺、质量标准、安全注意事项。按施工区****点击查看加工场地，并做好施工隔离措施。准备二次配需要自动轨道焊机、氦质谱检漏仪、压力试验泵、红外热熔焊机等机具。施工人员应穿戴洁净服，使用洁净工具，满足洁净厂房施工规范要求。

4.2 工程进度要求

1. 承包商需依据客户所提的日程施工，并提供施工计划进度表，另需于发包后于每星期呈我司工作进度以供管控，中标单位在进场施工前应提交详细的施工进度计划。

2. 当设备工程师确定机台位置与现场标识完毕后，进行会议确定到现场做 Pre-Hookup会勘。

3. 甲方提供机台UM表及预会勘信息供承揽商提前备料。

4.3 空间管理规范

负责本项目的施工空间管理：须根据空间管理规范对管路走向进行规划，所有管路尽可能短而直，远离其它系统的 take-off 点；同时必须根据各系统管路的take-off 点分布和机台使用情况对所有的 take-off 进行编号和规划（甲方提供），进行流量计算管控，以保证空间利用率和take-off利用良率，施工前提供各takeoff点编号供甲方确认后方可施工。

4.4 质量要求

4.4.1 一般要求：

1) 主要材料、阀件需送审合格方可购买，进场后需甲方验收合格方可使用。

2) 为保证品质，做到工前共识。所有阀组放置方式及位置需在会勘时定义清楚，并送组件样品供甲方确认后施工。

3) 设备端门型架等支架需各专业整合一体，便于美观。

4) 自动焊管路每次开机时需试焊，试焊合格后送样甲方同意后方可施工。

5) 高纯度管路系统测试完成后需贴易碎标签，若发现易碎标签损坏需重新测试合格方可使用。

6) 施工过程中的质量检查及施工后的质量验收按照相关标准进行，并将相关记录提交甲方审核；

7) 进场后逐一核对门帘、导轨、电机、控制箱、配件完整性，检查PVC帘布无划痕、撕裂、色差，型材无变形、锈蚀，电气配件无破损、老化，核对型号规格与设计图纸一致，不合格材料严禁进场施工。

8) 进场材料验收标准所有洁净板、龙骨、配件进场必须资料齐全、外观达标，不合格材料严禁进场施工。需核验产品合格证、型式检验报告、防火检测报告、抗菌防霉报告、防静电参数报告。板面外观：无划痕、无变形、无凹凸坑、无色差、涂层完整，端面封边严密无缺口芯材密实：芯材填充饱满、无空鼓、无断层、无受潮结块，板材整体刚度均匀尺寸偏差：长宽、厚度偏差≤±2mm，对角线偏差≤3mm，保证拼装缝隙均匀规整专用配件：配套洁净专用铝合金型材、圆角、收边条、密封胶条，禁止普通非标配件混用14.4 施工前置与环境管控（洁净专项）施工顺序：严格遵循先顶后墙、先大面后收口、先封闭后开孔原则，减少二次污染环境隔离：施工区域采用围挡封闭，与土建、粉尘作业区域完全隔离，杜绝交叉扬尘污染无尘作业：板材裁切、开孔必须在专用无尘操作台完成，禁止在成品板面、洁净区域地面切割，切割后立即吸尘清理金属粉尘与碎屑人员工具：施工人员穿戴洁净服、软底鞋，工具进场前清洁除尘，全程保持施工环境洁净。

9) 焊接：采用TIG焊（不锈钢）或手工电弧焊（碳钢），焊条选用J422（碳钢）或A102（不锈钢），焊缝需100%射线探伤（Ⅱ级合格）；

10) 法兰连接：螺栓采用镀锌材质，扭矩值按《GB/T9124》规定（如M20螺栓扭矩300-350N﹒m），垫片选用耐老化橡胶或PTFE材质；

11) 防腐与保温：埋地管道：采用“三油两布”防腐（沥青+玻璃纤维布），或环氧煤沥青防腐，厚度≥120μm；地上管道：涂装耐候漆（如环氧富锌底漆+聚氨酯面漆），厚度≥120μm；环境温度＜5℃时，需加装电伴热防冻；保温层：采用橡塑棉（导热系数≤0.034W/m﹒K），DN100以下管**保层用0.3mm铝板，DN100以上用0.5mm铝板，防止生锈；

12) 压缩空气管道建议采用无缝钢管。管道的弯头、三通、异径接头等管件均应用无缝机制管件，其质量应符合现行国家标准《钢制对焊管件类型与参数》GB/T12459-2017、《钢制对焊管件技术规范》GB/T13401-2017的规定。法兰采用钢制平焊法兰，垫片采用**橡胶板或增强柔性石墨板；

13) 管道在安装过程中及安装后，应采取有效措施，防止铁屑、焊渣、沙土及其它杂物进入或遗留在管内，并进行严格检查；管子，管件坡口的加工应采用机械加工。

14) 焊缝外观质量检验应符合《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB 50236-98的规定。

15) 管道安装完毕后，应进行强度试验，水压试验压力为1.5倍的设计压力，且埋地钢管任何情况下≮0.4MPa。水压试验时，应缓慢升压，达到试验压力后，稳压10分钟，再降至设计压力，稳压30分钟，以压力不降，无泄漏为合格。高危特气管道需额外进行氦质谱检漏，确保微泄漏达标。

16) 严密性试验，试验压力为设计压力，试验应逐级缓慢升压，当达到试验压力，并稳压10分钟后，以发泡剂检验不泄露为合格。采用空气作严密性试验时，必须制定有效安全措施，并经有关部门批准方可进行。

17) 管道系统试验合格后，应采用压缩空气进行吹扫，吹扫压力不得大于管道的设计压力，气流速度≮20米/秒，压缩空气吹扫时，在排气口用贴白布或涂白漆的木制靶板检查，如五分钟后检查其上无铁锈、尘土、水分及其它脏物即为合格。

18) 管道试验合格后，应将管道和接头箱表面污锈除去，应按规定进行表面除锈，除锈质量等级不应低于St3或Sa2.5级。先涂防锈漆**，然后涂淡灰色漆一道。管道漆色如建设单位有要求，则按照建设单位要求确定。

19) 排风管采用不锈钢材质制作。软连接采用塑料软胶材料，其且有阻燃性及防腐蚀性的功能，能有效减缓风机运行时所引起的风管振动。消声器采用阻抗型消声器，其安装后运转噪音距离1m处需小于85dBa。

20) 当排风管道通过不同防火分区时需设计防火阀，防火阀采用电动防火阀。一般情况下，防火阀的安装依据图纸；但是施工方应根据现场情况相应的防火要求设计、安装防火阀。

21) 所有水平或垂直的风管，必须设置必要的支、吊或托架，其构造形式由安装单位在保证牢固、可靠的原则下根据现场情况选定，详见《国标风管支吊架》03K132，管架与楼板之间采用膨胀螺栓固定。风管和设备都应配置相应的支吊架和减震器，保证系统运行时不产生震动，确保实验室内的噪音满足要求（小于60分贝）；风管支架安装间距不超过2米。

22) 风管上的可拆卸接口不得设置在墙体或楼板内。

23) 安装调节阀、蝶阀（防腐材料制作而成）、防火阀等调节配件时，必须注意将操作手柄配置在便于操作的位置，防火阀安装时气流方向应正确，保证阀板转动灵活，连接风管不变形，安装时应设有单独的支吊架。支托吊架的安装：吊架的吊铁采用角钢或槽钢制成；斜撑的材料为角钢；吊杆采用圆钢；扁铁用来制作抱箍。支架、托吊架制作完毕后，应进行除锈，刷一遍防锈漆。风管的吊点应根据吊架的形式设置，采用膨胀螺栓法。

24) 风管系统安装后，进行严密性试验，合格后进行下道工序。风管系统严密性试验以主、干管为主。本工程风管系统采用正压漏风检测法进行检测；

25) 在流量平衡考虑允许情况下，经图面递交甲方负责人审核同意后允许单点共用一个以上的 POU。

26) 风管和配件板材厚度要求（mm）：

4.4.2 不锈钢管道安装

1) 管道预制应在洁净环境中进行（洁净度≥ISO 7级）。管道安装过程中应保持管口封闭（管帽/管塞），防止灰尘和异物进入。 不锈钢管应采用专用切割工具（割管器或带锯），严禁使用砂轮切割机（防污染）。管口应去除毛刺、飞边，并清洗脱脂。弯管应采用冷弯工艺，弯曲半径≥3倍管外径。不锈钢管焊接应采用自动轨道氩弧焊（TIG），管内充氩气保护，焊接用氩气纯度≥99.999%，露点≤-70℃。焊接参数（电流、电压、应按WPS（焊接工艺规程）执行。焊缝应做内窥镜检查，100%检查焊接质量。每批焊缝应做5%比例的射线检测（RT）抽检。特殊气体管道应按规程要求进行氦检等检测。若水平转弯及末端链接软管时，均需补加支架固定。管道支架应采用热镀锌Uni-Strut成品支架，禁止采用角钢等型材现场焊接。

2) 不锈钢管道支架间距按以下要求执行：

4.4.3 塑料管道安装

1) 管材进场后应检查外观，管材应无裂纹、划伤、气泡、颜色不均等缺陷；管端应平整、垂直于管轴线，切割误差≤0.5 mm。

2) 塑料管切割应使用专用管材切割器或手锯（配导向装置），切割面应平整，切割后用刮刀去除管端毛刺，清洁管口。弯管应在厂家规定温度范围内进行热弯，弯曲半径≥3倍管外径；洁净用途（UPW、化学品）的PVDF/PFA管严禁现场弯曲，应采用预制弯头。塑料管材在施工现场存放时，应避免日光直射和高温环境；PVDF管存放温度不超过40℃，PFA管不超过50℃。

3) PFA管与管件连接应采用专用PFA管件（含螺纹压紧式或卡套式），安装时应按管件供应商规定的扭矩紧固。PFA管线与设备接口连接处应采用卫生级卡箍（Tri-clamp）或法兰连接，密封垫应采用PTFE或FEP包覆EPDM密封圈。

4) 管道支架间距按以下要求执行：

4.4.4 特气化学品管道安装

1) 管道布置要求：特气管道布置遵循“安全优先、短距直走、独立敷设、便于检修”原则，严禁乱绕、交叉混杂敷设。可燃、剧毒、腐蚀性特气管道禁止穿越办公区、生活区、通风死角及密闭地下室，优先沿厂房外墙、管廊、专用管井敷设。管道穿墙、穿楼板必须设置专用套管，套管与管道间隙采用不燃柔性材料密实填充并做好密封处理，防止气体渗漏、粉尘进入及管道位移磨损。液态特种气体水平管道敷设坡度不小于0.3%，统一坡向供液设备或收集装置，避免积液滞留引发安全隐患。针对自燃性、剧毒性、强腐蚀性高危特气，必须采用双套管防护设计，内管输送介质、外管防护隔离，套管间隙设置泄漏检测及泄压装置，杜绝介质外泄风险。低蒸汽压特气管道需配套伴热、保温系统，伴热温度严格控制在50℃以内，防止介质冷凝堵塞管道。

2) 间距与隔离要求：可燃特气管道与明火设备、高温热源最小安全间距不小于5m，无法满足间距时需设置隔热防火屏障；剧毒、腐蚀性特气管道与普通通风管道、电气线路、给排水管道保持独立敷设间距，禁止同沟无隔离敷设。不同种类特气管道分区布置，严禁易燃易爆与氧化性特气管道近距离并行混杂，防止泄漏后发生反应爆炸。

3) 阀件与连接配件：特气管道专用阀门仅限隔膜阀、波纹管阀，具备零泄漏、密封稳定、耐介质腐蚀特性，禁止使用闸阀、球阀、截止阀等普通工业阀门。管道连接优先采用全自动轨道氩弧焊接，阀件、管件连接处采用径向面密封接头，严禁使用螺纹连接、法兰连接及非金属软管接驳管道主干线。密封垫片统一选用不锈钢金属垫片或适配特种介质的高纯聚四氟乙烯垫片，杜绝普通橡胶、**垫片，防止腐蚀老化、介质污染及泄漏。管道与用气设备终端采用专用不锈钢密封接头，保证连接密封性与洁净度。

4) 特气管道施工全过程应在洁净环境中进行（预制区洁净度≥ISO 7级），管材、管件、阀门安装前保持洁净封装，严禁长时间暴露在空气中。

5) 气体控制箱（VMB/VMP）内部管路应在洁净工作台上预制完成，充高纯氮气（99.999%%%）保压封装后，整体运至现场安装。

6) 气体控制阀（气动隔膜阀、手动隔膜阀）安装前须确认流向标识，不得反向安装；气动阀执行器气源管线应标识清晰，与检测信号线分开布置毒性/腐蚀性气体管路的双级切断阀，安装时两阀之间的吹扫/排放管路应同步接入惰性气体吹扫系统，吹扫接口方向朝下或接排气管处理系统。特气管段安装完成后，应立即充高纯氮气（0.05~0.1 MPa）正压封存，防止湿气和污染物进入，直至系统整体调试时方可开放。化学品管道施工人员应穿戴完整的个人防护装备（PPE）：耐腐蚀手套、护目镜、防化服，高毒化学品作业场所应配备正压式呼吸器。焊接过程中不得出现气孔、裂纹等缺陷，每道焊缝完成后必须进行外观检查，不合格焊缝不得进入下一工序。

4.4.5 超纯水管道

1) 超纯水管道（PVDF/PFA）施工全程应避免与普通自来水、金属工具直接接触，所有与管道内壁接触的工具（刮刀、清洁布等）应用IPA预清洁。

2) 安装时应按系统设计坡度（≥1%）铺设，低点设排放口，保证系统能完全排空，无死水段和盲管段。

3) 安装完成后系统应保持密封，不得长时间开放暴露；调试冲洗前须用高纯水进行预冲洗，冲洗合格后再接入UPW主系统。

4.4.6 废水管道

1) 不同性质废水（含氟、酸碱、有机、重金属等）管路必须严格分系统安装，管路颜色标识和系统标签应在安装时同步完成，不得混淆排水支管与干管接口，应做顺水接头（斜三通或弯管导流），坡度均≥1.5%****点击查看处理站方向。

2) 每台设备排水管接地漏斗或排水口应设水封装置（U形存水弯），水封深度≥50 mm，防止排气管内有毒、有害气体通过排水管倒流进入设备区。

3) 含氟废水管路（PVDF）安装时应特别注意管道内壁不得有划伤，管道连接处焊缝质量应100%检查，防止氢氟酸腐蚀渗漏。

4.4.7 工艺冷却水

1) 管路（SUS304/316L不锈钢管）施工按2节不锈钢管道施工要求执行，管材切割、焊接、支架安装等均应符合相应质量标准。

2) 每台设备供回水管路上应安装切断阀、Y型过滤器、流量调节阀及温度/压力表，阀门安装方向应与流向标识一致，不得反向；仪表安装位置应便于读数。回水管路上设置的流量开关或压差开关，接线后应测试联锁动作可靠性，在回水中断时能及时反馈至设备控制系统。

3) 应采用闭孔橡塑发泡保温材料（NBR/PVC），性能要求：导热系数≤0.034 W/(m﹒K)（0℃时），湿阻因子μ≥10000，防火等级不低于GB 8624 B1级；洁净区内保温材料外表面须覆光面铝箔或PVC洁净护套，外表面光滑易清洁、无纤维脱落。

4) 回水管路（水温较高）保冷层厚度可按供水管路的70%选取，但不应小于15 mm。

5) 保温层厚度按下表要求执行：

4.4.8 空压及真空

CDA/真空管路（SUS304/316L不锈钢）施工按2节要求执行。真空管路安装坡度应朝向真空泵或主管集水器方向（坡度≥2%）。

4.4.9 电力系统

1) 洁净区内电缆桥架应采用不锈钢（SUS304）桥架，洁净区外可采用铝合金桥架或热镀锌桥架；桥架规格根据电缆填充率（不宜超过40%）。桥架安装应横平竖直，每节桥架连接处应对齐，误差≤2 mm；桥架固定螺栓应均匀紧固，桥架盖板安装后应与桥架侧边平齐。

2) 洁净区内电缆穿管敷设时，应采用不锈钢管或热镀锌钢管，管口用不锈钢管接头连接，穿电缆前应清洁管内壁。

3) 穿越彩钢板墙体和高架地板的孔洞，应套装不锈钢装饰圈并用防火泥或有机防火堵料封堵，保持洁净隔离。

4) 电缆敷设前应用绝缘电阻测试仪进行绝缘电阻测量（500V兆欧表），测量值应符合GB 50150要求，不合格电缆严禁敷设。电缆在桥架内应整齐排列，每隔1.0~1.5 m绑扎一道；垂直段桥架内的电缆每隔0.5 m增加一道绑扎。

5) 设备电缆与设备配电箱连接处，应使用金属软管（不锈钢波纹软管+外皮，长度0.5~1.0 m）进行柔性过渡，金属软管两端采用防水格兰连接。

6) 洁净区内所有工艺设备、管道（含塑料管金属连接件）、金属管架、彩钢板骨架、高架地板等金属构件均应做等电位连接。等电位连接线截面：主干≥16 mm2，支线≥6 mm2，均采用黄绿色铜芯绝缘导线。

7) 特气、化学品管路的PVDF/PFA段，由于管材绝缘，其金属接头（VCR、三通等）应单独做静电跨接（接地线截面≥4 mm2），间距≤20m。

4.4.10 管路标识、标示牌

1. 目的

制定有关标识的间距、颜色及标签大小等规定，使所有管线有统一及明显标识，使管线易识别，降低相关安全风险。

2. 管路标识形式（供参考，依据相关规定及甲方意见修改）

3. 所有特气管道必须设置专属标识，严格遵循GB/T 18304-2017标准，通过底色、字体颜色、箭头区分介质特性：标识清晰标注气体名称、危险特性、介质流向，标识间距均匀、醒目耐磨。可燃、剧毒、腐蚀性、氧化性气体管道采用专用警示底色，严禁标识模糊、缺失、脱落，便于日常巡检及应急处置。

4. 高危特气管道区域配套泄漏检测报警装置、紧急切断阀、防爆通风设施，可燃气体管道配套阻火、防爆装置，剧毒气体管道配套应急吸收、防护装备。管道系统设置专用接地防静电装置，接地电阻符合防爆规范要求，杜绝静电积聚引发安全事故。

5. 门体显著位置设置永久性金属铭牌（禁止粘贴式），标注型号、耐火等级、执行标准、生产厂家、出厂编号。

6. 大宗气体管道按介质分类标识，清晰标注氮气、压缩空气、氧气、氢气等介质名称、流向、危险警示；氧气、氢气管道增设高危警示标识。真空管道统一标注“真空管道+真空度等级+介质流向”标识，区分普通通风管道与工艺真空管道，标识清晰耐磨、不易脱落。

7. 管道的起点、终点、穿墙两侧、转弯点、直管段均需有管路标识及方向，管路标示需有中英文名称。

8. 统一标注介质名称（工艺冷却水/冷冻冷却水）、供水/回水方向、管路编号；冷水管路增设低温警示标识，区分常温水管、消防水管、气体管道，标识清晰耐磨、排布规整。

9. 电力、管路起点、终点需有标示牌，内容包括：机台名称或编号、输送物质名称（电力为电缆型号）、take off及stick或电盘回路编号。

10. 阀门挂牌：需有开于关的标识。

11. 管路标识尺寸

输送管路

4.4.11 特殊介质管道专项要求

1. 易燃易爆特气（硅烷、氢气、磷烷等）：全程防爆设计，管道防静电接地，设置紧急切断与泄漏报警，严禁高温暴晒、明火靠近，管道接头全程密封无死角

2. 剧毒特气（砷烷、乙硼烷等）：强制双套管设计，配套负压泄漏检测系统，独立尾气处理装置，管道全程无外露易泄漏接头

3. 腐蚀性特气（氯化氢、氟化氢等）：选用高耐蚀316L不锈钢材质，杜绝普通密封材料，加强管道防腐防护，定期检测管材腐蚀情况

4. 高纯惰性特气：严控管道内壁洁净度，全程无油污、无杂质，焊接、吹扫全程洁净作业，杜绝介质污染

1. 电力测试

1) 绝缘电阻测试

绝缘电阻应利用洁净室适用的高阻计来量测。

使用的电压如下： a.电路额定为 600V (含)以下。b.电路额定为 600V 以上1000V。

电压须一直加在测试点上直到稳定状态时为止。

2) 电力通路测试 电力通路应依据下列步骤使用电路测试器来检查：

在电缆一端以夹线在导体与金属护件(或接地金属)之间来完成搭接。

在搭接之另一端于相同的导体与金属护件 (或接地金属)之间使用同一个线路测试仪。

以相同的方式在所有导体间来作检查。

3) 接地电阻量测

接地电阻应使用同一个接地测试器来量测。

接地电阻应在每个与其它分开的检查坑上以及整个接地系统上来量测。

4) 接地通路测试

使用在所有接地电极之间。

用在所有接地电极之间最接近连接装备。

使用在上述最接近连接装备以及下一个连接装备之间。

以相同之方式检查所有连接装备以及接地电极之间的部份。

2. 气体系统测试

规范（包含但不限于以下气体种类）：

注明：HCL、PH3/H2、B2H6/H2、SIH4双套管外管需测漏。

1) 管路压力测试：

测定标准：管路测试压力保持在设计压力的150%，测试时间保持4h以上，测试用气体必须经过纯化器和过滤器，测试过程不可有严重的变形，压力不可有任何下降的情形。

测试程序：

（1）检查系统内的阀门是否关紧，接头及任何机械性接点是否放入垫片及锁紧，管子末端是否已密封。

（2）系统内的如果有压力泄放阀，必须拆除或隔断。

（3）衔接压力笔式记录器，机械式圆盘压力记录器＋温度计，或是电子式压力＋温度记录器。

（4）衔接吹扫用气体系统导入气体加压测试的管路系统至 1.5 倍设计压力。

（5）观察压力计是否保持在测试的压力，若有快速压降情形，就表示 有某处泄漏，找出泄漏点处理后，重新加压侦漏，直到泄漏全部被处理完成。

（6）如果泄漏点已经完全被修复，重新加压至测试压力后，压力须维持不降并超过规定的测试时间，本测试即通过，制作测试记录，记录管路系统名称和测试范围（提供立体简图），测试的启始及结束的时间和压力，修护的记录，测试人员及监测人员、甲方工程师签名。

（7）恢复泄压阀的安装。

2) 气体管路五项测试技术要求：

包含（但不限于）特气、高纯大宗气体及高纯惰性气体管路五项测试，具体如下表：

3) 测试要求

测试气体、测试仪器 、设备、耗材等，并规划详细检验/分析程序，呈送甲方审阅/核准；所有检测仪器于使用前先经过标准程序之校正，该份校正文件同时呈送审阅。

Visual Inspection：外观检查

（1）检查管件的安装位置和方向。

（2）检查焊接管道是否有裂缝，特别是弯管处，表面有无明显腐蚀、凹陷、裂纹、变形，焊缝区域是否有氧化变色、焊渣残留。

（3）检查管道对焊是否符合以下要求：

凹陷度<10%管壁厚；

凸起度<10%管壁厚；

错边量<10%管壁厚；

焊缝宽度：1倍管壁厚<3倍管壁厚；

（4）已安装的管道干净完好，表面无生锈、脏污及破损。

（5）管道在支架接触面都有良好固定，管道自然笔直，无明显的弯曲变形。

（6）并排管道的弯管角度、弯管半径一致，无管道歪斜及扭曲变形。

（7）弯管的量取尺寸是否准确，无太长挤压或太短拉扯管道变形。

（8）管道经弯管后无压扁变形，管道表面无划伤、撕裂痕迹。

（9）弯管半径内无焊道，起弯点无焊道。

（10）管道穿墙处有加装套管，开孔墙面封堵。

（11）不锈钢管口已用堵头封堵，法兰、阀门、弯头、三通等连接处是否松动，有无水滴、水雾等泄漏痕迹，垫片是否老化、移位。

（12）化学品聚氯乙烯外管接头粘接胶水均匀。

Strength Test：压力强度测试：

（1）测试介质为高纯氮气或高纯氩气。

（2）测试压力为管道设计压力1.15倍。

（3）时间保持30分钟。

（4）结果考虑温度修正，压降不超过1%为合格。

Pressure Holding Test：气密性测试：

（1）测试介质为高纯氮气或高纯氩气。

（2）测试压力为管道设计压力1.05倍。

（3）时间保持24小时。

（4）结果考虑温度修正，压降不超过1%为合格。

Helium：氦检测试

（1）氦检漏应采用质谱式检测仪，其检测下限不低于1×10-9mBar.L/S。

（2）采用内向检漏法（喷氦法）采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

（3）泄漏率不得大于1×10-9mBar.L/S。

（4）系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫。

Particle：气体系统颗粒度测试

（1）特种气体系统颗粒测试时，其气体流量应根据管道直径确定。

（2）测试气源的颗粒数应在规定颗粒粒径状态为零。

（3）测试气体中大于 0.1~0.3 微米的颗粒数应小于等于 35 颗/立方米。

（4）高纯特气系统，1立方英尺容积内大于0.1微米颗粒数量小于1颗为合格。

（5）测试结果大宗气体连续 3 次达标为合格。

Moisture：水分增量测试

（1）特种气体系统水分测试时，气体速度应低于设计流速的 10%，且小于 3m/s。

（2）测试气源的水分应小于 1ppbv。

（3）测试气体水分增量应小于 10ppbv。

（4）测试结束后，应至少保持 20min 稳定在规定值以下为合格。

Oxygen：氧分增量测试

（1）特种气体系统氧分测试时，气体速度应低于设计流速的 10%，且小于 3m/s。

（2）测试气源的氧分应小于 1ppbv。

（3）测试气体氧分增量应小于10ppbv。

（4）测试结束后，应至少保持 20min 稳定在规定值以下为合格。

Double-wall Tube Test：金属双层管夹层真空度测试

（1）采用内向检漏法（喷氦法）采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

（2）泄漏率不得大于1×10-9mBar.L/S。

若测试过程中发现管道存在异常，需提出有效的整改措施并在整改后重新测试，直至合格。

3. 纯净液态管路测试

（一）测试内容

以下测试包含下面纯水、化学品及Slurry供应系统

1) 此纯净系统包括必需用PN2做试压之压力塔槽和管线系统。系统中的每一点需做气压试压及包括所有的排放都要吹净，试验压力为4公斤气压。

2) 在开始实施气吹之前，须先通知甲方监工人员**，同时当行气吹时，应有甲方人员在场，冲吹完成后需甲方签字。

3) 气吹在原则上应连续不中断三分钟，重复三次，以设计或不低于正常操作之流速施行。但若所提供之气不足时，则可待气压升高至试压压力以下再气吹之，气吹前先应将阀关闭，然后再将阀打开，并且要以同样程续重复数次。当清洗与试压完成后，所有的管线需用空气将水分吹干并盲封或衔接至机台接口，完成后**甲方签字。

4) 超纯水管路的冲洗除气吹之外，要用系统水进行冲洗，冲洗时长2H以上。

（二）测试要求

1) 管路系统冲洗

（1）管道 冲洗前准备工作；

（2）拿到管道的压力试验合格报告，及甲乙双方签字确认书、PID图纸；

（3）严禁冲洗介质进入机台内部、其它不允许的管路/阀件应做好前期隔离工作，并做好标识和上锁记录；

（4）管道冲洗前对隔离阀、调压阀、仪表等进行拆除或卸掉阀头及阀座、保护套。也可采取经旁路冲洗，防止颗粒物损伤仪表或阀门的密封性；

（5）冲洗作业时应设置禁区，做好安全教育和防护措施；

（6）对于工艺管线应先冲洗主管路后冲洗支管路，其流向应于工艺后期流向一致；

（7）管道冲洗的流速不得小于1.5m/s；

（8）确认drain临时管路、废液收集桶、临时抽风管路已准备就绪；

（9）管道冲洗完成复位后，不得再进行影响管内清洁的其它作业；

（10）管道复位时，应由施工单位及甲方方共同检查并及时填写管路冲洗记录。

2) 管路Particle测试

（1）在管路冲洗2小时后，开启管路末端bypass阀门；

（2）测试流量不得小于50ml/min；

（3）打开Particle分析仪，待一起稳定30min后观察读值；

（4）0.05μm读值小于500颗/L判定为合格；

（5）如读值氦大于100颗/L，继续冲洗，直到合格为止；

（6）读值合格后**甲方确认拍照；

（7）将仪器内检测参数，通过电脑导出打印签字。

3) 管路的取样分析

（1）人员要求

1）取样人员需要是通过培训后的专业人员；

2）取样人员要具有良好的视力和对颜色的分辨能力；

3）熟悉取样方案和取样流程，熟悉掌握取样技术和取样工具的使用；

4）有取样过程中样品被污染的风险意识，并采取相应的采样步骤及规避措施；

5）取样人员要不定期进行相关专业培训。

（2）取样操作

1）接受取样单；

2）取样人员拿到请检单后核对信息，依据请检项目挑选适宜的取样工具；

3）理化检测应准备好一个或多个1000ml的取样瓶，同时准备好无尘布、酒精等清洁及防护用品；

4）取样量：检测一个样品至少取得1000ml的样品；

5）使用无尘布擦拭取样口，将相应的取样口阀门开启；

6）将管内死区内水排放三分钟。打开瓶盖将取样瓶口对准取样口冲洗三次以上再取样，移开取样口，立刻封闭取样口，并及时关闭取样口阀门；

7）取样完成后，在取样瓶上标注好：编号、取样地点、取样时间、分析项目、取样人等信息张贴在取样瓶上，然后取样瓶放置到样品箱内；

8）样品采集后及时送到分析室，一般保存4小时或冷藏保存8小时；

9）分析结果不合格重复冲洗作业，重新采样，直到理化分析合格。

（3）管路吹扫

1）管道吹扫的准备工作；

2）拿到管道的理化分析合格报告后，对管路进行吹扫作业，以便除去化学品管道内的水分；

3）在PN2气源上安装精度达到0.025μm的过滤器进行吹扫；

4）严禁吹扫介质进入机台内部，其它不允许的管路、阀件应做好前期隔离工作，并做好标识和上锁记录；

5）管道吹扫前对已拆除或卸掉的隔离阀、调压阀、仪表等进行恢复；

6）吹扫作业时应设置禁区，做好安全教育等防护措施；

7）对于工艺管线应先吹扫主管路后吹扫支管路，其流向应与工艺后期流向一致；

8）管道吹扫流速不得小于20m/s；

9）确认drain临时管路、废液收集桶、临时抽风管路已准备就绪；

10）管路吹扫完成复位后，不得再进行影响管内清洁的其它作业；

11）管道复位时，应有施工单位及甲方方共同检查并及时填写管路吹扫记录。

（4）交付

1）测试完成后检查管路各连接点是否完成；

2）粘贴密封标识；

3）整理好检测报告移交给甲方。

4. 其它管路系统试压

(1) 先采用气压测试，当试压至 1.7kg/cm 2 时应做初次之检查，若没发现漏气，则逐渐将压力再增大，直到到达最后之试验压力。为了很容易就能查出漏气的地方，所有接点、焊点和相接处都应擦净并涂上肥皂溶液检查有无漏气现象。

(2) 气压试压之压力，不得小于工作压力之 1.1 倍，试压时间不得少于 1 小时。

(3) 水压试验,当做水压试验时，需气压通过后进行。在水压试验中试验流体进入时，在每个最高点处都必须有足够排气孔以排气，最低点必须有排泄孔，此部份材料及施工由承包商负责，包含于试压费用内。

(4) 水压试验前需检查管路密闭状态，阀门已关闭，且立试压标牌于醒目处。

(5) 在试验系统中试压流体要排掉前必须先把排气孔打开，以免造成真空而排不净。

5. 洁净板技术要求

1) 核心强制性能指标：燃烧性能：统一A级不燃，杜绝可燃夹芯材料，满足洁净厂房防火分区要求，表面特性：板面平整光滑、无气孔、无积尘死角、不产尘、耐酸碱擦洗，防静电、抗菌防霉， 芯材选型：洁净区优先选用岩棉、玻镁、聚氨酯阻燃芯材，严禁劣质泡沫可燃芯材，面板材质：双面彩涂钢板，涂层附着力强、耐老化、不掉皮、无粉尘脱落，适配长期洁净运行环境。

2) 厚度选型规范：隔墙洁净板：常规厚度50mm、75mm，高隔音、高防火分区选用100mm，吊顶洁净板：统一50mm加厚承重标准，适配FFU、灯具、设备检修荷载，杜绝变形下垂。

3) 吊顶龙骨系统：吊顶采用专用轻钢承重龙骨体系，独立吊装、独立受力，严禁与工艺管道、设备支架共用吊点。吊杆间距≤900mm，主龙骨间距≤1000mm，副龙骨间距匹配板材模数，吊挂件、连接件齐全牢固。龙骨安装后双面防腐防锈处理，整体水**偏差≤2mm/2m，无松动、无晃动、无形变。

4) 墙体基层龙骨：隔墙龙骨竖向排布规整，间距均匀，底部设置防水防腐基座，杜绝地面水汽渗透受潮变形。墙体龙骨垂直度偏差≤2mm/2m，整体**、无倾斜，接缝平整无错台。

5) 墙板安装：墙板从转角、端头开始顺向拼装，板缝对齐、咬合紧密，竖向垂直、横向水平。板材拼接采用专用插接式结构，缝隙均匀一致，无错缝、无翘边、无松动。墙体底部与地面交接位置预留精准间隙，采用专用洁净收口处理，杜绝积尘死角。

6) 吊顶板安装：吊顶板材模数统一排布，横平竖直、分格规整，板缝对齐贯通。板材与龙骨完整贴合，受力均匀、无悬空、无虚搭，杜绝后期下垂变形。吊顶板面整体平整度一致，高低差≤1mm，满足洁净室气流平整要求。

7) 板缝密封核心要求：所有板材拼接缝、阴阳角、墙板与吊顶、墙板与地面交接缝，全部采用中性无尘防霉洁净密封胶施打密封。胶线顺直、饱满、无气泡、无断点、无开裂，杜绝缝隙漏风、积尘、滋生菌藻，保障洁净室气密性与压差稳定性。严禁使用普通玻璃胶、劣质密封胶。

8) 阴阳角与收口专项规范：- 室内阴阳角：统一采用圆弧圆角收口，R≥50mm，无直角死角，不易积尘、便于清洁，符合洁净室无尘设计要求，墙体与地面、顶面交接：全圆弧过渡收口，密封一体成型，杜绝缝隙藏污纳垢，门窗**收口：****点击查看、收口严密，胶缝连续完整，无渗漏、无漏风隐患。

9) 设备开孔与**封堵规范：FFU、灯具、风口、烟感、管线穿墙穿顶开孔必须精准裁切，切口平整光滑、无毛刺、无掉芯。开孔周边加装专用加固收口框，缝隙采用不燃洁净密封材料密实封堵，平整严密、无凹凸、无漏风。所有**封堵一次性成型，禁止后期二次补缝污染洁净环境。吊顶设备支架独立承重，不得直接受力于洁净板板面。

10) 安装精度验收偏差标准:- 墙面垂直度：≤2mm/2m,墙面平整度：≤2mm/2m,吊顶水**：≤2mm/2m,板缝宽度：均匀一致，偏差≤0.5mm,阴阳角**、圆弧顺滑，无变形、无磕碰、无翘边。

11) 外观验收：板面洁净平整、无划痕、无污渍、无变形、无掉漆；胶线顺直饱满、无气泡开裂；分格规整、横竖通线；圆弧收口顺滑无死角，整体洁净美观、无积尘隐患。

12) 性能验收：气密性：整体围护无漏风、无串气，保障洁净室正负压差稳定，结构牢固：板材、龙骨、配件紧固可靠，无松动、无异响、无变形下垂，洁净性能：板面不产尘、不积尘、耐擦洗、抗菌防霉，满足对应ISO洁净等级使用要求，防火性能：整体A级不燃，芯材、配件均符合洁净厂房防火分区要求。

13) 洁净区专项防护要求：施工完成后立即封闭洁净区域，禁止敞口裸露积尘，禁止硬物撞击、划伤板面，后续工序施工必须做好成品保护，板面覆盖保护膜，杜绝污染、磕碰、划痕，严禁在洁净板板面私自开孔、切割、改动结构，严禁擅自铲除密封胶。

6. 钢制防火门技术要求

1) 钢板厚度：门扇面板钢板厚度：≥0.8mm，门框钢板厚度：≥1.2mm，严禁薄板、负偏差板材，现场可采用游标卡尺复测，不合格严禁验收。

2) 门扇结构与填充：门扇内部填充**度不燃防火珍珠岩/防火岩棉，填充密实、无空鼓、无空洞，不得掺加可燃填充材料，门体整体冲压成型、加强筋布局规整，抗撞击、不变形，满足消防抗冲击性能要求。

3) 观察窗：必须使用单片防火铯钾玻璃或复合防火玻璃，严禁普通钢化玻璃；玻璃四周设置防火橡胶垫块，嵌入型材深度≥15mm，缝隙采用防火密封胶封堵，保证耐火完整性。

4) 门框固**装：采用激光水平仪校准，门框垂直度偏差≤2mm/m，水**偏差≤1.5mm/m，整体无倾斜、扭曲，固定件采用M10膨胀螺栓，固定点间距≤600mm，每侧边固定点不少于3个，固定牢固、无虚装松动，门框安装后临时支撑加固，防止灌浆、养护过程变形。

5) 门扇与五金调试：门扇安装后开合顺畅、无卡阻、无翘角、无反弹；闭门器力度调试适中，关闭严密、撞击轻柔；开启力≤80N，满足疏散轻便要求。双扇门通过顺序器调试，闭合咬合严密、中缝无错缝漏缝。

6) 安装间隙强制要求：门扇与门框上侧、侧边缝隙：≤3mm，双扇门中缝间隙：≤3mm，门扇底部地面缝隙：≤9mm（洁净厂房可控制在5～8mm，兼顾疏散与防尘）。

7) 电气与联动控制要求：疏散通道常闭式防火门：保持常闭状态，配置闭门器、顺序器，无需联动，常开式防火门：配套防火门监控模块、电磁释放器、反馈装置，火灾时联动自动关闭、信号反馈至消防主机，所有电气配件具备消防认证，布线规整、绝缘可靠、接地合规。

8) 合格标准：

① 外观：门框门扇平整**、无变形、脱漆、磕碰，密封胶完整顺滑

② 结构：钢板厚度、门扇厚度、填充材质全部达标，固定牢固无松动

③ 间隙：所有缝隙符合规范限值，防烟密封性能合格

④ 功能：启闭灵活、关闭严密、无卡阻反弹，开启力、闭门效果达标

⑤ 联动：常开门火灾关闭、信号反馈功能正常，无故障

⑥ 资料：证书、检测、施工、验收资料齐全可追溯

7. PVC快速卷帘门技术要求

1) 运行参数调试：精准设置启闭速度、限位高度、延时关闭时间，门体全程运行平稳、无抖动、无异常噪音，启停缓冲柔和，无硬冲击。上下限位精准，到位自动停机，无超程、无卡顿。

2) 安全功能调试（按需）：红外光幕全程有效，遮挡即刻停止运行或反向回弹；底部遇阻自动复位，防夹防压功能灵敏可靠；急停按钮按压即刻断电停机，复位后正常启动；断电状态可手动轻松启闭门体，应急功能完好。

3) 联动功能调试（按需）：适配门禁、叉车感应、门禁联锁、风淋室联动，信号对接稳定，联动启闭逻辑无误。

4) 导轨与机架安装：定位放线后固定两侧垂直导轨，采用激光仪、水平仪双向校准，保证导轨垂直、平行，垂直度偏差≤3mm/2m，无倾斜、错位。导轨切口打磨光滑无毛刺，防止划伤门帘；固定螺栓均匀紧固，无虚拧、松动，导轨与墙体间隙密实贴合，密封毛刷完整对齐。

5) 外观与安装精度：整体外观整洁规整，型材无划痕、变形，门帘平整无褶皱、破损、色差；密封毛刷齐全贴合，缝隙密封严密，防尘效果良好。安装垂直度、平行度、水**全部达标，固定牢固、无松动晃动。

6) 卷轴、电机与封箱安装：吊装顶部卷轴，校正卷轴水**与电机**度，紧固传动联轴器，传动结构无卡顿、无偏移。安装顶部一体式封箱，封堵缝隙，做好防尘、防水密封处理，整体机架稳固无晃动、无共振。

7) 门帘装配与调试前置：平整铺设PVC门帘，均匀固定抗风筋，保证门帘平整无褶皱、无偏移，上下运行顺畅。接线采用标准航空插接端子，接线规范、走线规整，绝缘防护到位，杜绝线路裸露、短路隐患，电气接线完成后做绝缘检测。

8) 运行性能验收：连续50次以上启停测试无故障，运行顺畅、噪音低、限位精准；安全防护功能100%有效，无失效、误动作；密封、防尘、启闭速度符合设计及洁净区使用要求。电气系统绝缘合格、接地可靠，无漏电、线路故障。

8. FFU风机过滤单元技术要求：

1) 机身结构要求：FFU机身采用铝合金喷砂/阳极氧化材质，轻质高强、不易积尘、耐腐蚀、不掉屑；整体一体成型，无明显拼接缝隙，表面光滑易清洁，适配洁净无尘环境。禁止使用普通铁皮、易锈蚀、易掉粉机身。

2) 过滤等级强制要求：常规洁净区：HEPA高效过滤器，H14等级，对0.3μm粒子过滤效率≥99.995%，超高纯工艺区：ULPA超高效过滤器，U15/U16等级，对0.1μm粒子过滤效率≥99.9995%，过滤器无破损、无变形、无胶裂，密封胶均匀饱满，出厂含完整检漏报告。

3) 风机与电控要求：采用直流无刷变频风机，启停平稳、转速均匀、无高频异响，支持长期连续24h不间断运行；电控模块具备过载、过流、短路保护，支持总线群控组网，可实现分区调速、故障报警、单台状态反馈。

4) 吊顶龙骨选型与排布：采用专用FFU铝合金吊顶龙骨，模数匹配设备尺寸，龙骨平直度高、不易变形、表面阳极氧化防尘。排布横平竖直、模数统一，无错格、无非标裁切混乱，为FFU提供平整承重与密封基面。

5) 安装精度偏差标准：龙骨水**偏差：≤2mm/2m，分格对角线偏差：≤3mm，接缝高低差：≤1mm，整体吊顶无松动、无晃动、无明显形变。

6) 密封处理:龙骨拼接缝、吊杆贯穿位、吊顶与墙体交接位全部采用洁净专用密封胶封堵，连续无断点、无气泡、无开裂；杜绝吊顶上部静压箱脏风渗漏，保障洁净层流有效性。

7) 施工前置条件:吊顶龙骨、吊杆、静压箱结构验收合格；洁净区主体、围护、门窗施工完成，环境无尘封闭；进场FFU外观完好、滤网无破损、机身无积尘，设备合格证、性能检测报告齐全。施工全程洁净作业，开箱、安装快速完成，避免滤网长时间裸露积尘。

8) 就位与固**装:FFU嵌入式卡装于龙骨分格内，四角贴合平整、无翘边、无悬空、无松动；设备与龙骨接触面完整贴合，内置密封垫圈不得脱落、压缩均匀，杜绝侧边漏风。整机安装平整，与吊顶板面平齐，无高低差、无倾斜。

9) 整体漏风控制（核心验收项）:所有设备接缝、分格缝隙、检修口位置密封严实，静压箱脏风不得下渗；严禁FFU虚装、垫圈缺失、单边贴合等漏风隐患，保证垂直层流均匀、无紊流、无负压倒吸。

10) 电气布线与群控系统规范:- 供电回路独立空开、分级配电，回路负荷匹配FFU数量，杜绝过载运行；线路敷设规整、绝缘完好，吊顶内走线固定牢固、无裸露线头。群控总线屏蔽布线，抗干扰、信号稳定，分区编号清晰，实现单台启停、分区调速、故障上报、后台监控。系统可靠接地，接地电阻符合洁净厂房电气规范，防静电、防干扰。

11) 单机调试:单台启停正常、转速平稳、无异响、无抖动,出风均匀、无偏流，滤网无抖动、无鼓风异响,调速档位线性正常，高低速切换平稳。

12) 系统联调：分区、群组启停逻辑正确，后台状态反馈一致，满布区域风速均匀，单点风速偏差≤±20%，洁净区气流组织为垂直单向层流，无明显紊流、死角，压差联动功能正常，正压维持符合洁净室设计要求。

13) 外观与安装验收：设备排布整齐、横竖一线，机身洁净无划痕、污渍、变形；密封垫圈完整压实，接缝密封严密，吊顶整体平整美观，无松动、无翘边。

14) 性能指标验收：风速：工作面平均风速0.36～0.45m/s，均匀性达标，噪声：工作区域噪声≤58dB，单台整机噪声≤52dB，漏风：整机及接缝无可见漏风、无负压倒吸，洁净度：静态/动态粒子浓度满足对应ISO洁净等级。

15) 资料验收：留存设备合格证、滤网检测报告、整机性能参数报告、电气接线图、群控系统调试记录、安装验收记录、隐蔽密封施工记录，资料完整可追溯。

6.1 日常运维要求

1) 特气管道系统实行定期巡检制度，重点检查焊缝、接头、阀门密封状态，排查泄漏、锈蚀、伴热保温异常等隐患。严禁私自改装、拆卸、封堵特气管道及附属设施，管道检修前必须彻底泄压、吹扫置换，经检测合格后方可作业。定期对管道检漏、校验安全附件，建立完整运维台账。

2) 氧气、氢气大宗管道全程防静电、防爆接地，接地电阻符合防爆规范；氧气管道严禁接触油污、可燃物，定期复查脱脂状态；可燃大宗气体管道配套泄漏报警、紧急切断装置。大宗供气系统定期巡检压力稳定性、管路锈蚀、阀门密封情况，每季度开展一次系统吹扫与压力校验。

3) 真空管道禁止承重、禁止外力撞击，严禁私自拆装、改动真空管路及密封接头；日常运维重点监测系统真空度、回升速率、泵组运行状态，定期检查法兰密封、焊缝状态，更换老化真空密封垫片。洁净真空系统保持管路密闭，杜绝外界污染物渗入，保障工艺真空洁净度稳定。

4) 日常巡检：每日监测系统压力、供水温度、回水温度、流量，排查管路渗漏、结露、震动、阀门异常问题水质运维：每周检测pH、硬度、浊度，每月检测菌藻、氯离子指标，定期排污、补水、投加药剂，稳定浓缩倍数定期维保：每季度清洗管路过滤器、冷却塔填料；每年开展系统全循环清洗、除垢、防腐复检、检修规范：管路检修前必须泄压、排空积水，清洗置换干净后方可施工，检修完成后重新试压、冲洗、水质调试方可投用。

5) 洁净板：每日检查板面完好度、胶缝完整性、无开裂脱落，排查漏风、积尘死角，洁净清洁：采用无尘软布配合中性清洁剂擦拭，禁止强酸强碱、硬质工具打磨板面，防止涂层破损。

6) 钢制防火门：每日检查门体完好、密封条完整、闭门回弹正常，严禁常**堵、拆卸五每季度调试闭门器、顺序器、锁具，清理缝隙积尘，补打开裂密封胶

7) PVC快速卷帘门：每日检查门体运行状态、导轨清洁度、密封毛刷完整性、安全感应灵敏度，排查卡顿、异响、偏移隐患。每月清理导轨、卷轴积尘，紧固松动螺丝；每季度检查电机、传动结构、线路绝缘，更换老化密封配件。

8) FFU安装、调试、检修全程无尘作业，禁止带尘施工、大面积敞口作业，未验收前持续封闭洁净区，防止滤网积尘失效，所有密封工序一次性成型，杜绝后期补缝污染洁净环境。

6.2 安全管控

1) 高危特气管道区域配套泄漏检测报警装置、紧急切断阀、防爆通风设施，可燃气体管道配套阻火、防爆装置，剧毒气体管道配套应急吸收、防护装备。管道系统设置专用接地防静电装置，接地电阻符合防爆规范要求，杜绝静电积聚引发安全事故。

2) 工艺冷却水系统严禁私自改管、私接取水点，杜绝跑冒滴漏浪费及系统压力失衡。低温管路周边禁止堆放杂物、撞击挤压保温层及管路。闭式循环系统配备稳压装置、膨胀水箱、超压泄压装置，防止压力波动损坏管路及设备。车间积水及时清理，避免管道长期受潮腐蚀、引发安全隐患。

3) 卷帘门严禁强行推拉、撞击门体，严禁遮挡、损坏安全光幕与急停装置；故障停机后断电检修，禁止带电拆机。

4) FFU日常巡检：每日检查设备运行状态、有无异响、启停正常、群控在线状态，观察气流均匀性，定期清洁：每月对机身表面、吊顶缝隙无尘擦拭清洁，禁止水洗电控部位，滤网更换：按洁净等级周期更换HEPA/ULPA滤网，更换全程无尘操作，更换后重新检漏、风速复测。

1. 中标人应针对本工程组织专门的项目管理机构，配备齐全的管理、技术、安全质量等相关人员，且未经招标人许可不得随意更换，项目管理人员不少于1名。

2. 投标人按照招标文件的要求编制完整的施工组织设计。投标人若能中标，须按照投标时提供的施工组织设计方案实施。

3. 中标人在进行现场施工过程中，必须服从招标单位关于工程施工进度、施工质量、安全文明施工、资料报验等方面的管理。

4. 工程进度报表：中标单位在施工过程中，必须按照招标人的要求向招标人报送工程进度报表，每次填报的工程量必须为现场实际完成且经招标人的甲方代表及确认的工程量。

5. 中标单位在完成了设计文件内的所有内容（即工程竣工），且所有资料均完善齐备并经招标单位及质量监督部门审核确认后，即可按照规定的程序申请工程验收。

6. 本工程的质量保修期，自整体工程通过竣工验收合格之日起计算，保修期限为24个月，若发包人因生产需要，在整体竣工验收前对某一已完工的独立系统（指具备独立运行条件、可单独交付使用的子系统）先行接收并投入使用的，该系统的移交行为仅视为使用权的提前转移，不视为质量保修期的起始节点。保修期仍统一以整体工程最终竣工验收合格之日为起算点，整体验收前已移交系统的使用时间，不计入保修期限。二次配安装应以所有设备完工验收合格后作为保固时间起点。质保期范围内维修包工包料，且应于2小时内做出响应，12小时之内做到现场处理。

7. 工程中所采用材料、产品的质量保修期除上述技术要求中确认的之外，按国家有关规定执行。

8. 施工需满足国家、地方相关法规、规范、标准及设计指标要求。

项目名称：8寸2026下半年设备二次配及区域改造；报名地址：https://sup.****点击查看.com/supplier/bid/bidShare.html?bidId=78cc9504c167442f872bf89679a1dbe4

联系人：柳先生

邮箱：****点击查看@tcl.com

寻源截止时间：2026年9月17日-2026年9月28日